ポンプ、コンプレッサなど製造する荏原製作所（東京都大田区）は5日、熊本事業所内に建設を進めていた精密・電子事業の新工場とドライ真空ポンプのオーバーホール拠点としてのサービス工場を11月15日に竣工したと発表した。

　新工場は、既存の工場とほぼ同規模であり、主力生産機種であるCMP装置をはじめ各種半導体製造装置の生産に対応する、柔軟性の高い生産設備となっている。

　また、クリーンルーム内の空調で使用する電力の半減や生産過程で使用された水の95％以上の再利用などを通じて、環境負荷低減や周辺環境との調和に努め、地域との共生を図る。

　新工場の竣工により、精密・熊本工場では、装置の生産能力が最大で従来の2倍に拡大することが可能となり、顧客ニーズや納期などへの柔軟な対応と精密・藤沢工場を含めた生産運営がさらにフレキシブルになる。

　来年から生産開始が可能で、引き続き堅調なCMP装置需要に対応する。サービス工場は、既存の九州サービス工場に比べ3倍超のオーバーホール処理能力を有し、九州・中国地域を中心としたドライ真空ポンプのオーバーホール拠点となる。