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大陽日酸、中国新工場が着工/電子材料ガスの生産能力増強

2017年7月3日

 産業ガスメーカーの大陽日酸(東京都品川区)は6月29日、アジア地区でのエレクトロニクスガス需要の増加に対応する為、中国に新工場の建設を決定し、6月28日に鍬入れ式を行ったと発表した。

 中国では2014年に制定された「国家IC産業発展推進ガイドライン」と中国共産党の「第13次5カ年計画2016~2020年」で半導体産業の育成や国産化が推進されており、電子材料ガスなど関連材料需要の大幅な伸びが期待されている。

 生産能力を増強するB2H6、CH3FおよびC4F6はメモリーやロジックにドーピング、エッチング用途で用いられており、今後は特に3D-NANDプロセスの多層化に伴う需要の拡大が見込まれている。

 新工場は敷地面積28,000㎡。生産工場・倉庫・事務所を含めた建屋総面積は7,000㎡。設備はB2H6の合成充填、CH3F、C4F6の精製充填、SiH4等の混合ガス充填・容器整備機能を設置。2019年1月の商業生産開始を予定している。

■ 新工場概要

会社名:揚州大陽日酸半導体気体有限公司
所在地:中国江蘇省揚州化学工園区
敷地面積:28,000㎡
建屋総面積:7,000㎡(生産工場・倉庫・事務所)
設備:B2H6の合成充填、CH3F、C4F6の精製充填、SiH4等の混合ガス充填・容器整備機能を設置
着工:2017年6月
商業生産開始予定:2019年1月

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