日立化成（東京都千代田区）は30日、半導体研磨材料「ナノセリアスラリー」の生産能力を約5倍に増強すると発表した。

　高精細な半導体デバイスの需要増加に伴い「ナノセリアスラリー」へのニーズが高まったことを受け、約30億円を投じて新たな量産設備を導入する。

　「ナノセリアスラリー」の製造拠点である山崎事業所の能力増強に加え、アジア地域の半導体メーカーのニーズに素早く対応するため、台湾の子会社であるHitachi Chemical Electronic Materials (Taiwan) Co., Ltd.で量産を開始する。

　今回の増強を機に、3D-NAND等の半導体メモリーや半導体ロジック等、今後成長が見込まれる分野に対して、同製品の拡販をさらに進めるとしている。