東京エレクトロンは25日、製造子会社である東京エレクトロンテクノロジーソリューションズの山梨（藤井）事業所、東北事業所内に新棟を建設すると発表した。

　山梨（藤井）事業所では、約130億円を投じて延床面積約3万2千㎡、地上4階の建屋を建設。枚葉成膜装置、ガスケミカルエッチング装置、テストシステムを製造する。2019年1月の着工、2020年4月の竣工を予定している。

　東北事業所では、約130億円を投じて延床面積約3万2千㎡、地上4階の建屋を建設。熱処理成膜装置の製造を行う。2018年10月の着工、2019年9月（1期）、2020年12月（2期）の竣工を予定している。

　成膜装置などの製造装置市場は、技術革新が続き大きな成長が見込まれていることから、需要増に対応する為、新棟の建設を決定した。