トクヤマ（東京都千代田区）は7月31日、徳山製造所でフォトレジスト用現像液であるテトラメチルアンモニウムヒドロキシド（TMAH）の製造設備を増強すると発表した。

　ICケミカル事業の主要製品のTMAHは、半導体市場における微細化の進展に伴い、高純度なフォトレジスト用現像液として需要拡大が見込まれている。今回、市場ニーズに対応するため、製造設備を増強することで事業拡大を図る。

　営業運転開始は2020年4月を予定。生産能力は50%増強される。