ポンプ、タービンなど製造する荏原製作所（東京都大田区）は13日、藤沢事業所に実験開発棟V6棟を建設すると発表した。

　近年、IoTやAIの広がりを背景にあらゆるものに半導体が使われるようになり産業分野の需要が急速に増えるなど、半導体製造装置市場は拡大傾向にある。

　さらに、先端研究開発設備、分析装置、医療機器などでもドライ真空ポンプや排ガス処理装置の需要は多様化していることから、多種多様な要望に効率的に応えていくための開発設備と体制を構築する。

　開発棟は、フロア面積や試験ベンチ（テストスタンド）数を従来の実験設備比で2倍以上に拡張する。また、使用環境を再現するプロセスガス導入・処理設備の設置に加え、新製品の運転・動作確認ができるデモルームを設置する。

　さらに、ドライ真空ポンプと排ガス処理装置の開発設備を1カ所に集約する。IT機器については、IoT技術を活用した試験データ計測システムを採用する。