ウシオ電機は9日、静岡県の御殿場事業所で投影露光装置の生産能力を増強すると発表した。

　今回、最先端ICパッケージ基板、フレキシブル基板の需要増に対応するため、分割投影露光装置（UX-5シリーズ）とロール搬送投影露光装置（UFXシリーズ）の生産能力を増強する。

　今後、IoTの進展に伴い、大容量かつ高速でのデータ処理に対応したデータセンター向けサーバーの需要増加が見込まれている。一方、スマートフォンを始めとするディスプレイの分野では、OLEDの採用や狭額縁化がすすみ、COFと呼ばれるフレキシブル基板の需要が増加している。

　いずれも、採用される基板には高い解像性や重ね合せ精度が求められる。それらの要求を高い生産性で実現する露光装置を増産する。