荏原製作所は10日、神奈川県藤沢市に建設を進めていた実験開発施設、「精密コンポーネント開発・イノベーションセンターV6棟」の竣工式を行ったと発表した。

　IoTやAIの広がりを背景にあらゆるものに半導体が使われるようになり産業分野の需要が急速に増えるなど、半導体製造装置市場は拡大傾向にある。

　さらに、先端研究開発設備、分析装置、医療機器などでもドライ真空ポンプや排ガス処理装置の需要は多様化している。顧客の多種多様な要望に効率的に応えていくための開発設備と体制を整える。

　施設は、フロア面積や試験ベンチ（テストスタンド）数を従来の実験設備比で2倍以上に拡張する。また、使用環境を再現するプロセスガス導入・処理設備を設置する。

　さらに、新製品の運転・動作を顧客が確認できるデモルームを設置する。ドライ真空ポンプと排ガス処理装置の開発設備を1カ所に集約する。加えて、IoT技術を活用した試験データ計測システムを採用する。

　今後は、ドライ真空ポンプや排ガス処理装置の開発効率向上とスピートアップにより、顧客の要求に合致した製品をタイムリーに継続して市場投入する。さらに、多方面から需要が高まっているドライ真空ポンプと排ガス処理装置を一体とした排気システムの製品開発も推進していく。