エア・ウォーターは8月30日、グループ会社で電熱機器を製造する日本電熱が本社工場内に新棟を建設すると発表した。

　日本電熱は、ウェハーを均一に加熱する熱板（ホットプレート）や冷却用のクーリングプレートなど、半導体の製造工程で不可欠な熱制御機器を大手半導体製造装置メーカーに供給している。

　近年、半導体の微細化や積層化に伴い、半導体製造プロセスにおける熱制御技術の重要性が高まるとともに、世界的な半導体需要の高まりを背景に半導体製造装置メーカーでは生産能力の増強に向けた動きが加速している。

　今回の新棟建設により、半導体製造装置向け熱制御機器の生産能力を現行比1.5倍に拡大し、増産体制を整える。