エア・ウォーターは15日、グループ会社でガス精製装置や排ガス処理装置の製造を行う日本パイオニクスが平塚工場内に半導体メーカー向けガス精製装置を製作する新棟を建設すると発表した。

　昨今、全世界的に半導体工場の新設や拡張が相次いで計画され、同時に製造設備の大型化も進んでいる。これに伴い、日本パイオニクスが製作するガス精製装置においても、大型装置の需要が急速に高まっているため、それに対応した新棟を建設し、より効率的なガス精製装置の製作体制を構築する。新棟の稼働により、ガス精製装置の製作能力は現行比1.6倍を見込んでいる。

　今年8月、エア・ウォーターグループの日本電熱が、国内大手半導体製造装置メーカー向け熱制御機器の製造に特化した新棟を安曇野本社工場内に建設することを発表。本件はこれに続く半導体製造関連向けの機器事業の設備投資となる。