住友重機械工業は27日、子会社の住重アテックスがパワー半導体にイオン照射するための加速器を増設し、稼働を開始したと発表した。

　住重アテックスの放射線利用事業では、主にパワー半導体の電気特性の向上を目的としたイオン照射サービスを行っている。世界の半導体市場規模はテレワークの普及やAI、5G・6Gなどの需要を背景に長期的な拡大が見込まれている。

　その中でも住重アテックスのイオン照射サービスの主要マーケットであるパワー半導体の需要は電動車の普及を背景に急増しており、顧客であるパワー半導体メーカ各社から設備能力の増強を強く求められている。

　今回、サービスの安定的な供給を図る目的で新たに加速器を導入。事業継続性の向上も目的とし、従来とは異なる拠点（岡山県倉敷市）に設置した。

　住重アテックスでは、パワー半導体メーカから製造途中のパワー半導体ウエハを受け取ってイオン照射を行い、局所的に欠陥層やドナー層を生成することによって、パワー半導体の電気特性を向上させている。これにより、電気自動車やハイブリッドカー、電気鉄道車両や家電製品などの省エネ化を実現している。