SCREENホールディングスは28日、彦根事業所内に新工場「S3-4」建設を中心とした設備投資を行うと発表した。

　近年、5G対応スマートフォンの普及や、DXの進展に伴うデータセンター需要の拡大に加え、EV、自動運転などの車載関連、産業機器を中心としたIoTインフラの急速な普及により、半導体デバイスの需要が世界規模で増加しており、大手デバイスメーカーでは高水準の設備投資が続くと予想されている。

　今回の設備投資の中核となるS3-4は、枚葉式洗浄装置「SUシリーズ」の主力工場であるS3-3に連結される予定で、S3-3で生産された装置やユニットの出荷前洗浄工程を強化することで、生産開始から出荷まで効率の良い生産フローを実現する。

　総工費は100億円規模となり、新工場建設のほか、生産能力増強に伴う廃液処理や人員増加のための施設拡充、既存設備の改修、厚生施設の建設なども行う。半導体製造装置事業としては、2019年1月に竣工したS3-3以来の工場建設となる。