大真空は6日、徳島事業所でフォトリソ工程（水晶ウエハから水晶片を加工）用のクリーンルームを増床し、6月から量産を開始すると発表した。

　5GやIoTの普及に伴い、データ通信の高速化や大容量化が進展している。こうした状況下、高周波・高精度・高安定のタイミングデバイスの重要性はさらに高まっており、これらを得意とする水晶デバイス市場は今後もさらなる拡大が見込まれている。

　最終製品の高機能・多機能化に伴う高密度実装化のニーズが高まる中、水晶デバイスには小型化も同時に求められている。これら小型製品で高周波・高精度・高安定を実現するためには水晶片のフォトリソ加工が必要不可欠であり、これまで鳥取事業所でフォトリソ加工を行ってきたが、増加が見込まれるフォトリソタイプ製品群への対応に加え、BCPの観点からも、徳島事業所にフォトリソ工程用のクリーンルームを増床した。

　クリーンルームへは4inchウエハに対応した設備を導入することで、3inchウエハと比較すると水晶片の生産量は約1.7倍になる試算。また、同社がコアテクノロジーと位置付ける「ウエハの大判化」を見据え、同設備は6inchウエハにも対応可能な仕様となっている（6inchウエハの取れ数は4inchウエハの約2倍）。