シンフォニアテクノロジーは13日、豊橋製作所（愛知県豊橋市）のクリーン搬送機器工場を増設すると発表した。

　半導体メーカー各社は、爆発的な半導体需要の増加に伴い、積極的な設備投資を行っており、同社でも注文が急増している。これにより23年度には現有生産キャパを超過する見込みで、特に国内生産機種であるEFEM、真空プラットフォームの増加に加えて、新機種の生産スペース確保が必要であることから、工場増築を決定した。

　半導体製造装置生産のメイン工場である豊橋製作所内のクリーン搬送機器第一工場は、2007年8月に建設された後、2020年3月に工場床面積を約1.5倍に増築、さらに今回、2階建ての新工場棟を建設することにより、1.75倍に増築。開設時からでは2.5倍に拡張されることとなり、2023年7月からの本格稼働を予定している。

　また、21年にはロードポートの組み立てを始めた伊勢製作所（三重県伊勢市）にもクリーンルームを増設し、タイの現地法人であるシンフォニアテクノロジー（タイ）では第3工場を建設、2023年4月以降、新しい設備を順次稼働する予定。

　同社は半導体製造装置に材料を供給するインタフェース部分「ロードポート」では世界ナンバーワンのシェアがあり、さらに今後は、ウエハー搬送ロボットを組み合わせた複合モジュールのEFEMなど半導体関連機器を強化するとしている。