コマツは7月29日、100％子会社で半導体リソグラフィ用光源メーカーのギガフォトンが新生産棟を建設すると発表した。

　近年、世界での半導体需要は大幅に増加し、また各国の主要半導体メーカーがサプライチェーンの見直しを迫られるなか、半導体製造装置への投資が加速している。

　世界中で高まる半導体製造装置の需要に対応するため、ギガフォトンでは、今年4月に同敷地内に開発棟を増築し、6月より順次研究開発機能を集約することで既存生産棟の生産ライン増強を図っている。生産ライン増設とともに、生産工程の効率化・最適化により、生産能力は9月より2020年度比で約2倍に増強される。これに今回の新生産棟増設を加え、2020年度比で約2.5倍の実現を目指す。

　ギガフォトンは現在までに2000台を超える半導体リソグラフィ用エキシマレーザーを世界中へ出荷している。半導体製造に不可欠なリソグラフィ用光源の安定供給を図るとともに、稼働サポートを強化し、売上げ拡大を目指す。