SCREENホールディングスは1月30日、彦根事業所の敷地内で建設を進めていた半導体製造装置の新工場「S3-4（エス・キューブフォー）」が完成し、稼働を開始したと発表した。

　今回の設備投資の中核となるS3-4は、枚葉式洗浄装置「SUシリーズ」の主力工場であるS3-3に連結される予定で、S3-3で生産された装置やユニットの出荷前洗浄工程を強化することで、生産開始から出荷まで従来に増して効率の良い生産フローを実現する。