エア・ウォーターは7日、子会社で各種電熱機器の製造販売を行う日本電熱が、安曇野本社工場内に新棟を建設し、稼働を開始したと発表した。

　昨今の世界的な半導体需要の高まりを背景に、半導体製造装置メーカーでは生産能力の増強に向けた動きが加速している。また、半導体デバイスの微細化や積層化が進む中、半導体製造プロセスにおける熱制御技術の重要性は増している。

　今回、半導体製造装置に組み込まれる熱制御機器の増産に対応するため、生産能力を現行比1.5倍に拡大。国内大手半導体製造装置メーカー向け熱制御機器の製造に特化した新棟を建設した。

　エア・ウォーターの産業ガス関連事業では、市場規模が急拡大するエレクトロニクス関連領域を今後のさらなる事業成長の牽引役と捉えており、中でも、工業用の電熱制御機器で国内トップシェアを誇る日本電熱は、熱の制御技術を強みとして、ウェハーを均一に加熱する熱板（ホットプレート）や冷却用のクーリングプレートなど、半導体の製造工程で不可欠な熱制御機器を大手半導体製造装置メーカーに供給している。