フェローテックホールディングスは13日、熊本県大津町に半導体製造装置向け部材・サービスの新拠点を構築すると発表した。

　展開事業である「石英製品」と「装置部品洗浄サービス」の投資や生産規模については現在検討中。従業員は当初100名規模を予定しているが、事業規模に応じた増員も随時検討する。

　石英製品は、超高純度のシリカガラスからなる同社の主力製品の一つ。ウエーハの薄膜生成や拡散プロセス、その他搬送、洗浄工程などの治具、消耗材として利用され、微細化、高純度化の進む半導体プロセスで重要な役割を担っており、半導体製造装置メーカーや半導体デバイスメーカーなどが主要な顧客となる。現在の同社グループの生産拠点は、山形県と中国の杭州、常山、東台にあり、今後は今年11月に竣工を予定しているマレーシア（クリム）工場での生産展開も計画している。

　装置部品洗浄サービスについては、半導体とFPD（有機EL・液晶パネル）製造装置の部品洗浄サービスを中国国内で展開している。純水洗浄、超音波洗浄のほかにサンドブラスターやプラズマ溶射装置も完備している。半導体デバイスメーカー、FPDメーカーでは生産稼働に応じて、装置や装置部品などに付着した汚れを定期的にクリーニングする要望があり、同社はこのニーズに応えている。現在の生産拠点は中国の銅陵を中心に、上海、天津、大連、四川（内江）、広州の計6か所に構えている。