古河機械金属は28日、グループの中核事業会社で電子部門を担う古河電子が、いわき工場で建設していた焼成炉2基が完成し生産を開始したと発表した。

　今回、窒化アルミセラミックスの増産投資を行い、半導体製造装置向けΦ16インチ（Φ400ｍｍ）サイズ対応の窒化アルミセラミックス部品の生産能力を強化する。

　半導体製造装置は、半導体メーカーの積極的な設備投資により継続的な成長が見込まれており、そこで使用する窒化アルミセラミックス部品の需要拡大に対応する。現在、増産設備で生産した製品を顧客が認証・評価を進めている段階で、本格的な生産は2024年頃となる見込みで、認証後のフル生産を目指し、販売を強化していく。

　今後、窒化アルミセラミックスは、従来からの生産拠点である半導体素材分工場（栃木県日光市）と、今回増設を行ったいわき工場の2拠点で生産する。また、今後の窒化アルミセラミックス需要を見極め、更なる増産投資についても適宜検討していく。