SCREENホールディングスは17日、彦根事業所の敷地内で2023年2月から進めていた半導体製造装置の新工場「S3-5（エス・キューブファイブ）」の建設を終え、操業を開始したと発表した。

　総工費は約80億円。延床面積は約13,534㎡の鉄骨造地上3階建。新工場では、今回設置する全てのクリーンルームに省エネルギー対応の空調設備を導入するなど、生産設備の環境負荷低減に向けた取り組みについても継続して進めている。