東洋炭素は16日、グローバルで高まるSiC（炭化ケイ素）とTaC（炭化タンタル）コーティング黒鉛製品の需要に対応するため、増産に向けた設備投資を行うと発表した。

　SiCパワー半導体は中長期的に高い需要が予想されており、SiCウエハーの製造工程であるエピタキシャル工程で使用するSiCとTaCコーティング黒鉛製品の需要も高まり続けている。

　今回、両製品の製造能力増強を目的に約70億円を投資する。TaCコーティング黒鉛製品については、2023年4月にも生産能力の増強を決定しているが、一段と高まる需要を受け、追加投資により供給能力をさらに引き上げる。SiCコーティング処理能力は約3倍（2023年比）となり、TaCコーティング処理能力は6倍（2023年比）となる。