半導体製造装置と精密計測機器の製造販売を行う東京精密（東京都八王子市）は5月6日、八王子工場内の新棟(第6工場)が竣工し、5月9日より稼働を開始すると発表した。

　今回、半導体製造装置において大型装置のニーズが増加傾向にあることや、機種によっては従来比大型化のニーズも増えてきていることから、大型装置の生産能力向上と生産性向上を図る為新設を決定した。

　新棟稼動により、大型装置の生産能力は最大4倍に向上する。併せて設計技術者フロアを設け開発環境を改善し、更に将来の需要増大の際にも対応可能なスペースを確保した。

　新工場棟の特徴として、大型装置の生産に対応する大型クリーンルームを備え、かつ隣接する第3工場と連結することで、より効率的な生産と技術開発の実現が可能となる。

　また、制震バンパー、レンズ型せん断ダンパーを採用し耐震性を備えた構造となっているほか、環境問題への配慮と省エネ対応の観点から、第5工場に続き、新工場棟にも今後太陽光発電設備を設置する予定をしている。