三菱ケミカルグループは11日、グループ会社の新菱（福岡県北九州市）が半導体精密洗浄事業について、福島工場の新設と岩手工場の増強を発表した。

　半導体精密洗浄事業では、半導体製造装置メーカーや半導体デバイスメーカーに対して、パーツ洗浄サービスを提供している。

　三菱ケミカルグループの精密洗浄技術は、パーティクル（塵、埃）や金属不純物などナノ単位の汚れをきめ細かく除去し、必要に応じてパーツの表面を改質することで、半導体製造の歩留りを向上させ、廃棄パーツの削減と環境負荷低減に貢献している。また、使用済みパーツだけでなく新品パーツも洗浄することで、半導体製造装置の初期稼働不良も低減することができる。

　今回の設備投資により、半導体市場の拡大に伴うパーツ洗浄の需要拡大に対応する。新設する福島工場は2026年10月の稼働、岩手工場の増強設備も2026年10月の稼働開始を予定している。