荏原製作所は20日、東北地方で初となるドライ真空ポンプのオーバーホール工場が竣工したと発表した。

　半導体市場は、2030年には1兆ドル（約150兆円）の市場規模になると予測されており、半導体製造現場で欠かせないドライ真空ポンプの需要も拡大している。アフターサービスの拡充を図るため、2023年12月に着工し、建物の竣工を迎えた。新工場含め、国内のドライ真空ポンプのオーバーホール工場は5カ所体制となる。

　新工場では、返却されたドライ真空ポンプの状態を確認し、分解・洗浄・修正、部品交換、組み立て、試験を行い、新品同様の性能にして再納入する。また、建屋屋上への太陽光パネル設置や生産排水のリサイクルなど環境負荷低減に取り組むほか、EV充電スタンドや和室付きリフレッシュルームを設置し、従業員のエンゲージメント向上も図る。